美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器

美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器
 
型号
5850E
5860E
流量范围(N2)
  3SCCM~30SLPM
  3SCCM ~ 30slpm
  响应时间
  <3 sec
  <2 sec
精准度
  ≤±1% FS
  ≤±1% FS
  重复精度
  ±0.25% FS
  ±0.25% FS
  输入/输出信号
0~5 Vdc OR 4~20 mA
  0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源
  +15 Vdc
  +15 Vdc
 耐压
 1500psi
 1500psi
压差范围
5~50psi
漏率
  1*10E-9 atm cc/sec
  1*10E-9 atm cc/sec
工作环境温度
  0~50 °C
  0~50 °C
使用范围
  2 ~ **
  2~ **
接口形式
卡套、VCR
卡套、VCR
美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器，美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器，美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器，美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器