Alicat质量流量控制器

一、Alicat质量流量控制器产品特点
1、50毫秒内完成稳定的控制响应
精确、稳定的流量取决于控制响应速度，艾里卡特?质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定！
2、操作便捷
????? 50-100毫秒控制响应
??????允许用户自行调节PID以获得良好的速度和稳定性
??????定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
??????同一台设备控制质量流量、体积流量或**压力
??????瞬间启动、*预热：1秒内即可开始流量控制
二、Alicat质量流量控制器产品系列
MC?标准系列
MCR?大流量系列
精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特?R系列阀门为无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
MCW / MCRW?低压损系列
较大限度减小压损对系统的影响，满量程压损较低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力，是航空**、环境气体分析等应用的选择；较大量程：0-500 slpm。点击这里了解更多关于Whisper系列
MCS / MCRS?耐腐蚀系列
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。
MCE / MCV?半导体行业**系列
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀?，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。较大量程：0-20 slpm.
MCD / MCRD?双向质量流量&压力控制器系列
双向质量流量控制器，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。??点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列
三、Alicat质量流量控制器常用选配项
??????后置阀门，优化真空及背压应用的控制
??????批量控制模式，依靠快速的阀门响应来分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
????? CSA认证1类2区?/ ATEX认证1类2区允许设备用于危险环境
????? 9针或15针D-Sub等连接接口可选
??????通讯模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可选
??????彩色背光显示屏适用于光线不足的场合
四、Alicat质量流量控制器性能参数
指标
质量流量控制器
量程
0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度
±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
重复性
±0.2%
量程比
200:1
响应时间
100ms
标准状态(STP)
25℃&14.696PSIA?（101.325kPa）
温度范围
-10～50
零点漂移
0.02％
量程漂移
0.02％
湿度范围
0-**
测量流量范围
128％（过流率）
较大耐压
145psi
输出信号（数字）
质量流量、体积流量、**压力和温度
数字信号可选
RS485，Modbus，Profibus
输出信号（模拟）
质量流量、体积流量、**压力和温度
模拟信号可选
0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
电气连接
8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）
供电电压
7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
供电电流
0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）